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產(chǎn)品描述
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NNS-XYZ100RZ2RXY1-01 六維納米定位平臺
NS-XYZ100RZ2RXY1-01是一款高精度六維納米運動臺。集成平移、升降和旋轉(zhuǎn)在一起多達六維運動,結(jié)構(gòu)緊湊。電容傳感器全閉環(huán)控制,精度高。大通孔設計,陽極氧化黑工藝,滿足多場景應用。
典型應用
• 顯微成像 • 納米定位
• 光學對準 • 激光領域
• 集成光學 • 光學測量
• 半導體加工
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